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Cassification
PRO Line PVD 200物理气相沉积系统是一款模块化、功能齐全的薄膜沉积系统，支持8英寸晶圆转印、最多8个溅射阴极和eKLipse高级控制软件。全球服役超过500台，PVD系列是一款经过验证、坚固且多功能的设计，包含PVD 75和200平台。
PRO Line PVD 75物理气相沉积系统是基于主力PVD 75平台的下一代薄膜沉积系统。PVD 75在全球服役超过400台，是一款经过验证、坚固且多功能的设计。PRO Line PVD 75在原设计的基础上改进了基础压力和泵送速度。技术*的腔体设计、业内出色的软件控制系统（具备*编程能力）、自动基底加载以及多种优化薄膜性能的功能，是这一创新的设计所带来的一些关键优势。
NANO 36™物理气相沉积系统是我们优化的入门级沉积系统。我们的腔室设计特别适合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面积，提供了实惠的价格点，同时保持了您期望从 KJLC 获得的质量。
MiniLab 125物理气相沉积系统优化为多技术应用，采用模块化磁控管溅射和热蒸发PVD系统，适用于直径最大11英寸的基板。
SD-650MHT物理气相沉积系统采用*的机械设计和精密控制系统，具备出色的真空水平和稳定的气体控制能力。其核心部件包括旋转真空泵和涡轮分子泵的组合，能够快速实现5×10^-5Pa的真空，确保涂层过程中的高效率和稳定性。
ATC Flagship Series物理气相沉积系统可根据多种配置建造以满足大多数需求。这些系统围绕AJA独特的A300-XP（UHV）或Stiletto系列（HV）磁控管溅射源构建，这些源具原位磁控管头的倾斜，实现了精确且可重复的共焦、直射和离轴薄膜沉积。
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