PRO Line PVD 75物理气相沉积系统

简要描述：

PRO Line PVD 75物理气相沉积系统是基于主力PVD 75平台的下一代薄膜沉积系统。PVD 75在全球服役超过400台，是一款经过验证、坚固且多功能的设计。PRO Line PVD 75在原设计的基础上改进了基础压力和泵送速度。技术的腔体设计、业内出色的软件控制系统（具备编程能力）、自动基底加载以及多种优化薄膜性能的功能，是这一创新的设计所带来的一些关键优势。

产品型号：
厂商性质：经销商
更新时间：2026-03-04
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Cassification

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规格

密室

箱形304升不锈钢腔室

内部尺寸：
15.25英寸宽 x 16.50英寸深 x 24英寸高
（387.4毫米 x 419.1毫米 x 609.6毫米）

铝制，密封O型圈，带铰链，前门

沉积技术

热蒸发

最多可配备四艘4英寸单艇，或六艘2英寸艇体组件

托鲁斯磁控管溅射源

最多六个2英寸或3英寸音源

最多四个4英寸音源

电子束蒸发源

4 口袋8cc

8 口袋12cc

6 口袋20cc

LTE10有机沉积源

最多两个10cc的电源

沉积方向

热蒸发

上

托鲁斯磁控管溅射源

向上、向下或侧边溅射

电子束蒸发

上

LTE有机沉积

上

基质作

旋转、加热、冷却、偏置、负载锁定兼容

电源

直流、PDC、射频、中频和HIPIMS 电源

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规格

密室

沉积技术

沉积方向

基质作

电源

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