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Cassification
MNT-S单腔型原子层沉积ALD系统主打科研研发与中小规模量产场景，可覆盖 4 英寸至 12 英寸衬底的高精度纳米薄膜沉积需求，是国内 ALD 设备领域的主流选型之一。
PlasmaPro 100 Cobra感应耦合等离子刻蚀是英国牛津仪器公司推出的一款高性能、高灵活性的电感耦合等离子体刻蚀系统。它主要服务于优良半导体、微机电系统、光电子器件及前沿纳米技术等领域的研发与生产，专注于在各类材料上实现高精度、高深宽比的微纳结构刻蚀。
MNT-G手套箱集成型原子层沉积ALD系统是一种高度专业化的薄膜制备设备。它将原子层沉积的高精度薄膜生长能力，与手套箱的惰性气氛保护环境无缝结合，专门用于研发那些对空气中的水氧极为敏感的前沿材料。
QL 气路测量控制管线系统是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计、加工和测试，以隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器、MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节、纯度过滤、流量控制等功能。
DS300 压力式质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小，精度高，响应速度快，压力不敏感的特点，产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。
CS330数字式质量流量控制器是七星华创流量计研发的数字型产品，流量可达200SLM（氮气），并可实现数字/模拟控制模式；产品可用于测量各种气体的流量，包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂等性能，并支持DeviceNet和RS485通讯协议。
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