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Cassification
WS-ALN100150倒片机设备中包含1台6轴机械手组件，设备前端设有6个Loadport工位，每3个对应1个腔室。设有2个Buffer工位，每个Buffer上可以放19片Wafer对应1个腔室中的4寸Wafer，2个冷却工位分别对应左右2个腔室。在目前的机构形式下的Tack Time时间为≤10s,具备较高的稼动率水平。
TAU Series离子微粒吸附设备在面板生产中主要应用于曝光机设备，用于去除空气中可能会降低曝光机镜组折射率的有害物质。同时具有精确控制温度和控制湿度的功能。
Oven设备是目前TFT产线耗电量较大的设备，Oven设备热排管道排出的是230℃的高温有机废气（光刻胶升华物），大量的热能被浪费掉。在排气管路上安装热能回收的TRU Series热回收系统设备可达到节能效果，同时也可实现客户端运营成本的下降。
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