当前位置:首页 > 产品中心 > 半导体设备 > 氧化扩散设备Furnace
产品分类
Cassification
CL4514型氧化扩散设备是各大院校、科研机构、实验室中的典型热处理设备,用于微电子系集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等学科中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的教学和试验工作。
Hesper TO230R 单片减压湿法氧化扩散系统适用于集成电路、功率半导体、衬底材料、科研等领域,单腔或多腔多种设计,可满足不同客户需求,低拥有成本和低运营成本。