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TPC-2110 CMP化学机械抛光系统是一种针对薄膜（如介质层）进行抛光处理的设备。它结合了化学刻蚀和机械摩擦的综合作用，通过精确控制抛光过程中的化学和机械参数，实现对晶圆表面材料的精细去除和平坦化处理。CMP抛光机具有操作便捷、兼容性强等特点，能够根据不同尺寸和类型的晶圆进行适配，并通过更换抛光压头等方式实现多种抛光工艺的需求。
CTMP-200S CMP化学机械抛光系统是一种针对薄膜（如介质层）进行抛光处理的设备。它结合了化学刻蚀和机械摩擦的综合作用，通过精确控制抛光过程中的化学和机械参数，实现对晶圆表面材料的精细去除和平坦化处理。CMP抛光机具有操作便捷、兼容性强等特点，能够根据不同尺寸和类型的晶圆进行适配，并通过更换抛光压头等方式实现多种抛光工艺的需求。
TMP-200 CMP化学机械抛光系统是一种针对薄膜（如介质层）进行抛光处理的设备。它结合了化学刻蚀和机械摩擦的综合作用，通过精确控制抛光过程中的化学和机械参数，实现对晶圆表面材料的精细去除和平坦化处理。CMP抛光机具有操作便捷、兼容性强等特点，能够根据不同尺寸和类型的晶圆进行适配，并通过更换抛光压头等方式实现多种抛光工艺的需求。
UNIPOL-1203 CMP化学机械抛光系统，适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
CAPSTONE CS200-ma CMP化学机械抛光系统是 Axus Technology 推出的下一代 CMP 处理工具，具有市场上优良的晶圆抛光性能，适用于 100、150 和 200 毫米晶圆尺寸。
CAPSTONE CS200-ia CMP化学机械抛光系统是 Axus Technology 的下一代 CMP 处理工具，具有市场上优良的晶圆抛光性能，适用于 100、150 和 200 毫米晶圆尺寸。
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