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产品分类
Cassification
详细介绍
SD-650MHT物理气相沉积系统采用*的机械设计和精密控制系统,具备出色的真空水平和稳定的气体控制能力。其核心部件包括旋转真空泵和涡轮分子泵的组合,能够快速实现5×10^-5Pa的真空,确保涂层过程中的高效率和稳定性。
SD-650MHT物理气相沉积系统主要特征:
1. 高效真空系统:油转真空泵与无油涡轮分子泵的结合,确保快速达到所需真空水平,提升实验效率。
2. 精准气体控制:内置气体流量控制阀支持从大气压到10^-6Pa的广泛测量范围,确保溅射涂层的精确性。
3. 用户友好界面:触摸屏设计简洁直观。用户可以通过屏幕轻松设置各种参数,实时监控涂层过程。
4. 安全与可靠性:多重防护措施,包括防泄漏和真空系统保护,确保设备和人员的安全。
5. 多功能应用:适用于各种材料涂层需求,尤其是弱磁性物质的溅射靶,大大扩展了应用范围。
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