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产品分类
Cassification
AGF Series电阻式SiC长晶炉适用于6/8英寸导电和高纯半绝缘型SiC晶体生长，多加热器设计允许灵活的工艺和热场设置，下装载结构可实现便捷的开装炉及维护操作，同时设备拥有高精度控温、控压能力，工艺性能稳定优良。
APS Series感应式SiC长晶炉适用于6/8英寸导电和高纯半绝缘型SiC晶体生长，创新的结构设计，可提供高纯材料生长能力，拥有高精度的控温、控压能力，工艺性能优良，设备一致性好，具有丰富的量产经验。
NVT-HG单晶生长炉主于光伏产业8-12英寸单晶硅制备工艺，该机台具有大投料量，高拉速，低能耗，自动化、智能化的优点。能够进行全自动并进行工艺处理。系统主要由籽晶升降/旋转系统，坩埚升降/旋转系统，热屏升降系统，旋阀、真空腔室、辅助功能单元及电控系统组成。
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