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Cassification
QL 气路测量控制管线系统是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计、加工和测试，以隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器、MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节、纯度过滤、流量控制等功能。
DS300 压力式质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小，精度高，响应速度快，压力不敏感的特点，产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。
CS330数字式质量流量控制器是七星华创流量计研发的数字型产品，流量可达200SLM（氮气），并可实现数字/模拟控制模式；产品可用于测量各种气体的流量，包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂等性能，并支持DeviceNet和RS485通讯协议。
WS-ALN100150倒片机设备中包含1台6轴机械手组件，设备前端设有6个Loadport工位，每3个对应1个腔室。设有2个Buffer工位，每个Buffer上可以放19片Wafer对应1个腔室中的4寸Wafer，2个冷却工位分别对应左右2个腔室。在目前的机构形式下的Tack Time时间为≤10s,具备较高的稼动率水平。
TAU Series离子微粒吸附设备在面板生产中主要应用于曝光机设备，用于去除空气中可能会降低曝光机镜组折射率的有害物质。同时具有精确控制温度和控制湿度的功能。
Oven设备是目前TFT产线耗电量较大的设备，Oven设备热排管道排出的是230℃的高温有机废气（光刻胶升华物），大量的热能被浪费掉。在排气管路上安装热能回收的TRU Series热回收系统设备可达到节能效果，同时也可实现客户端运营成本的下降。
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