QL 气路测量控制管线系统是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计、加工和测试，以隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器、MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节、纯度过滤、流量控制等功能。

Name: QL 气路测量控制管线系统
Brand: 北方华创
Availability: InStock

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QL 气路测量控制管线系统是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该QL 气路测量控制管线系统通过对气路原理图的设计、加工和测试，以隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器、MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节、纯度过滤、流量控制等功能。

设备特点

•具备 IC 级复杂气路盘设计能力：可设计满足集成电路（IC）领域严苛要求的复杂气路结构，适配 IC 制造中多气体、高精度的气路输送需求，保障精密工艺下的气路稳定性；

•支持定制化服务：能根据客户的具体工艺需求（如气体类型、压力 / 流量参数、接口规格）调整气路盘设计，提供个性化解决方案，避免通用产品与实际需求不匹配的问题；

•嫁接 MFC 研发生产经验：依托七星流量计多年的 MFC 研发与生产技术积累，将 MFC 的精准流量控制技术融入气路盘设计，提升整体气路系统的流量控制精度与可靠性；

•高性价比优势：在保障性能与质量的前提下，通过优化设计与生产流程控制成本，为客户提供兼具可靠性与经济性的气路输送方案，降低客户设备投入成本。

产品应用

•真空能力：覆盖 0.2Pa~1×10⁻⁶Pa 范围，可适配不同真空度需求的工艺场景，确保气路系统能稳定维持目标真空环境；

•漏率（VCR 密封）：小于 1×10⁻⁹Pa˙m³/s，极低的漏率保障气路密封性，避免气体泄漏导致的工艺污染或参数波动；

•管路内表面光洁度：小于 0.2Ra，光滑的内表面减少气体杂质吸附，降低因管路污染影响气体纯度的风险；

•管路内表面处理：采用 EP（电解抛光）处理，进一步提升管路内表面洁净度与耐腐蚀性，适配高纯度气体输送需求；

•IGS 尺寸与接口 / 密封形式：IGS 尺寸为 1.125 英寸，接口采用全金属密封，密封形式可选 IGS-C 型、VCR 或卡套，适配不同设备的连接需求，同时保障密封可靠性；

颗粒度控制：连续 3 次测试中，0.1μm 以下颗粒数≤3 个，严格控制管路内微小颗粒，避免颗粒进入工艺环节影响产品质量（尤其适配半导体、精密电子等领域）。

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