
产品分类
Cassification
详细介绍
Oven设备是目前TFT产线耗电量较大的设备,Oven设备热排管道排出的是230℃的高温有机废气(光刻胶升华物),大量的热能被浪费掉。在排气管路上安装热能回收的TRU Series热回收系统设备可达到节能效果,同时也可实现客户端运营成本的下降。
设备特点
•结构设计合理,技术成熟,动态品质良好
TRU Series热回收系统设备采用适配 Oven 排气管路的结构设计,无需对原有 Oven 系统进行大规模改造即可安装,兼容性强;技术方案经过长期工业场景验证,运行稳定性有保障,可适应 TFT 产线 24 小时连续生产的工况;良好的动态品质体现在设备运行过程中,即使面对 Oven 排气量、温度的小幅波动,仍能保持稳定的热能回收效率,不会出现频繁启停或性能波动的情况,确保对 Oven 工艺无干扰。
•压差变化小,系统运行稳定
设备在回收热能过程中,对排气管路的压差影响极小 —— 压差变化控制在合理范围,不会因 TRU 的接入导致 Oven 内部气体流动失衡。Oven 工艺对内部气体平衡要求严苛(气体平衡直接影响温度分布、废气排出效率),微小的压差波动都可能干扰工艺稳定性,而 TRU 设备的低压差变化设计,能有效保障 Oven 原有工艺不受影响,确保 TFT 产线产品质量稳定。
•风量处理能力可按需调节
设备的风量处理能力支持根据客户实际需求设定与调整:不同 TFT 产线的 Oven 设备规格、产能不同,对应的废气排放量也存在差异(如高产能产线的 Oven 排气量更大),TRU 设备可通过调节内部风量处理组件,适配不同 Oven 的排气量,确保在各类产能场景下,都能高效回收废气中的热能,避免因风量不匹配导致的回收效率下降或系统负•荷过高问题。
•有效降低 Oven 耗电量,节电效率可观
设备的核心价值在于节能降耗 —— 通过回收 Oven 排出废气中的热能,减少 Oven 设备加热时的能源消耗,经实际应用验证,其节电效率可达 65% 以上。以 TFT 产线常用的多台 Oven 配置为例,长期运行下来,TRU 设备能显著降低整体电费支出,帮助客户在设备投入后较快收回成本,同时减少能源浪费,符合绿色生产理念。
产品应用
•压差变化值:0~20Pa
该参数表示 TRU 设备运行时,排气管路内的压差波动范围控制在 0 至 20Pa 之间。这一微小的压差变化对 Oven 内部气体环境几乎无影响,可确保 Oven 在接入 TRU 后,仍能维持稳定的温度场与气流场,避免因压差波动导致的工艺参数偏移,保障 TFT 面板的烘烤质量。
•排热量压力损耗:不影响烘炉内部的气体平衡
TRU 设备在回收热能过程中,产生的排热量压力损耗极低,不会打破 Oven 内部的气体平衡。Oven 的烘烤工艺依赖稳定的气体流动(如热空气循环、废气及时排出),若压力损耗过大,会导致 Oven 内部气流速度、压力分布异常,进而影响面板的烘烤效果(如局部烘烤过度或不足),而该设计可规避此类风险。
•节电量:≥45±5KWH(2 Sets)
当同时配置两台 TRU 设备时,每单位时间的节电量范围为 40~50KWH(即≥45±5KWH)。这一节电量水平在工业生产中具有显著的成本控制意义 —— 按 TFT 产线全年连续生产计算,两台 TRU 设备每年可节省大量电能消耗,直接降低客户端的运营成本,同时减少能源消耗带来的环境影响。
•适用领域:平板显示、发电等领域的废热气回收及再利用
平板显示领域:主要用于 TFT 产线 Oven 设备的高温有机废气热能回收,解决 Oven 高耗电问题,助力平板显示产线实现节能生产;
发电领域:可回收发电过程中(如火力发电、新能源发电)产生的废热气(如锅炉排气、汽轮机排气),将回收的热能用于预热燃料、加热循环水等环节,提升发电系统的能源利用效率,实现资源循环利用。
产品咨询