产品分类
Cassification
CAPSTONE CS200-Sa CMP化学机械抛光系统是 Axus Technology 的下一代 CMP 处理工具,具有市场上优良的晶圆抛光性能,适用于 100、150 和 200 毫米晶圆尺寸。
F-REX300XA CMP化学机械抛光系统是进一步提升生产效率、高性能且灵活的CMP设备
高效且可重复的结果在化学机械平坦化(CMP)工艺中至关重要,尤其是在试点生产和科研环境中。CMP Orbis System化学机械抛光系统是一款精密设计的落地式工具,专为满足这些需求而设计,提供灵活且经济高效的先进功能。
韩国GnP GPC-300A CMP化学机械抛光系统是一台可以自动抛光和清洁300毫米晶圆的机器。
GNP POLI-400L CMP化学机械抛光系统设计用于高级 CMP 工艺开发应用,如 MEMS 以及 CMP 特性研究。该系统拥有成本低,占地面积小。
GNP POLI-500 CMP化学机械抛光系统用于4英寸、6英寸和8英寸晶圆,广泛应用于耗材供应商、基板制造商和芯片开发商的8英寸(200毫米)高级研发评估。可集成多个可选监测系统,用于优良材料评估和生产前评估。