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产品分类
Cassification
Compact 21MBE分子束外延系统是一个灵活且经济实惠的 MBE 系统，其功能经过精心设计，以满足材料研究和试点生产中苛刻的规格要求。
GEN2000 MBE分子束外延系统提供的吞吐量、更长的活动周期、更小的占地面积和集群工具晶圆处理。它是 HBT 和 pHEMT 等无线通信设备大批量生产以及需要以低拥有成本生产 6 英寸的新兴应用的理想选择。
GEN200 MBE分子束外延系统是当市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供的吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。
GEN20 MBE分子束外延系统是一款超灵活的工具，设计可针对III-V型及新兴材料进行配置，包括需要电子束技术集成的应用。该系统集成了生产设计技术，支持可选的集群工具晶圆转移系统，实现理想的实验室到晶圆间迁移。
GENxcel R&D MBE分子束外延系统具备易于使用的手动传输系统、12个源端口和现代电子设备，集成于单一框架设计中，可实现大的实验室占地面积效率。
GEN10 MBE分子束外延系统是经过验证的平台中最灵活的集群工具系统，支持最多三个可配置的材料特定增长模块。这使得系统利用率高，使多位研究人员能够同时使用系统，进行无人值守的生长和校准。结合Veeco零部件技术，是MBE社区无论应用何种，都选择GEN10™ MBE系统的关键因素。
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