GEN20 MBE分子束外延系统是一款超灵活的工具，设计可针对III-V型及新兴材料进行配置，包括需要电子束技术集成的应用。该系统集成了生产设计技术，支持可选的集群工具晶圆转移系统，实现理想的实验室到晶圆间迁移。

Name: GEN20 MBE分子束外延系统
Brand: Veeco
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GEN20 MBE分子束外延系统是一款超灵活的工具，设计可针对III-V型及新兴材料进行配置，包括需要电子束技术集成的应用。该系统集成了生产设计技术，支持可选的集群工具晶圆转移系统，实现理想的实验室到晶圆间迁移。

GEN20 MBE分子束外延系统特点：

非常适合材料研究和前期生产环境

垂直源与基底朝向，配备12个MBE源端口，并可选择增加电子束功能

手动或自动晶圆转移选项

可配置的低温舱、机械臂、快门及原位监测设备

模块化设计允许最多两个增长模块

GEN20 MBE分子束外延系统是一款超灵活的工具，设计可针对III-V型及新兴材料进行配置，包括需要电子束技术集成的应用。该系统集成了生产设计技术，支持可选的集群工具晶圆转移系统，实现理想的实验室到晶圆间迁移。

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