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Cassification
PRO 75/100 MBE分子束外延系统是用于超高真空条件下材料研究的沉积工具，基底直径可达4英寸。它们是灵活的系统平台，适用于多种MBE应用，如二维材料生长、金属间化合物、氧化物异质结构或半导体。PRO 75/100 MBE配备了更优良的蒸发控制软件，并提供多个原位特性分析端口。
EVO 25/50 MBE分子束外延系统是用于超高真空条件下探勘材料研究的沉积工具，适用于直径不超过2英寸的基底。它们是灵活的系统平台，适用于多种MBE应用，如二维材料生长、金属间化合物、氧化物异质结构或半导体。EVO-25/50 MBE配备了先进的蒸发控制软件，并提供多个原位特性分析端口。
MBE-1000 cluster 分子束外延系统，可进行5×3''，4×4''，单片6'', 单片8''衬底外延生长。该系统可实现全自动传样和生长，非常适用于器件的批量生产。生长室采用双温区衬底加热，实现生长温度均匀可控。MBE-1000系统可定制10个蒸发源端口或12个蒸发源端口。
MBE-2000 分子束外延系统是一款批量生产型分子束外延系统，可实现 9×4 英寸、4×6 英寸等多种规格衬底的外延生长，具备样品传送、束流标定、外延生长等全自动化功能，支持 24/7 批量化生产模式，并配备 RHEED 等原位监测系统实时监控生长状态，适用于化合物半导体芯片等领域的批量生产。
HMF-MBE-200 强磁场MBE外延系统配置不同类型的蒸发源，适用于强磁场下多种材料体系研究，可生长金属、磁性薄膜及半导体异质结，适合互联多种原位量测系统。同时系统操作简单，模块化腔室构型，方便日常维护保养。
Compact 21MBE分子束外延系统是一个灵活且经济实惠的 MBE 系统，其功能经过精心设计，以满足材料研究和试点生产中苛刻的规格要求。
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