
产品分类
Cassification
详细介绍
PRO 75/100 MBE分子束外延系统是用于超高真空条件下材料研究的沉积工具,基底直径可达4英寸。它们是灵活的系统平台,适用于多种MBE应用,如二维材料生长、金属间化合物、氧化物异质结构或半导体。PRO 75/100 MBE配备了更优良的蒸发控制软件,并提供多个原位特性分析端口。
PRO 75/100 MBE分子束外延系统特点:
MBE系统优化用于4英寸晶圆生长
大型喷出单元容量以延长正常运行时间
灵活构型,从拓扑绝缘体到半导体和金属氧化物
原位生长监测
可靠且快速的样本传输
由优良软件控制的生长过程
作为材料创新平台(MIP)的一个模块设计
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