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PRO 75/100 MBE分子束外延系统
简要描述:

PRO 75/100 MBE分子束外延系统是用于超高真空条件下材料研究的沉积工具,基底直径可达4英寸。它们是灵活的系统平台,适用于多种MBE应用,如二维材料生长、金属间化合物、氧化物异质结构或半导体。PRO 75/100 MBE配备了更优良的蒸发控制软件,并提供多个原位特性分析端口。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-03-03
  • 访  问  量:61

详细介绍

PRO 75/100 MBE分子束外延系统是用于超高真空条件下材料研究的沉积工具,基底直径可达4英寸。它们是灵活的系统平台,适用于多种MBE应用,如二维材料生长、金属间化合物、氧化物异质结构或半导体。PRO 75/100 MBE配备了更优良的蒸发控制软件,并提供多个原位特性分析端口。                    

PRO 75/100 MBE分子束外延系统特点:                        

MBE系统优化用于4英寸晶圆生长                 

大型喷出单元容量以延长正常运行时间                                         

灵活构型,从拓扑绝缘体到半导体和金属氧化物           

原位生长监测                                

可靠且快速的样本传输                                                         

由优良软件控制的生长过程               

作为材料创新平台(MIP)的一个模块设计                           


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