MBE-2000 分子束外延系统是一款批量生产型分子束外延系统，可实现 9×4 英寸、4×6 英寸等多种规格衬底的外延生长，具备样品传送、束流标定、外延生长等全自动化功能，支持 24/7 批量化生产模式，并配备 RHEED 等原位监测系统实时监控生长状态，适用于化合物半导体芯片等领域的批量生产。

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更新时间：2026-03-03
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MBE-2000 分子束外延系统是一款批量生产型分子束外延系统，可实现 9×4 英寸、4×6 英寸等多种规格衬底的外延生长，具备样品传送、束流标定、外延生长等全自动化功能，支持 24/7 批量化生产模式，并配备 RHEED 等原位监测系统实时监控生长状态，适用于化合物半导体芯片等领域的批量生产。

MBE-2000 分子束外延系统特点：

批量生产型MBE系统，经济高效产量高

外延9×4inch，4×6inch，15×3inch和32×2inch衬底；MBE日常工作全自动化：样品传送，束流标定，外延生长等；可实现24/7批量化生产模式。

配备原位监测系统，实时监控生长状态

反射式高能电子衍射仪(RHEED)，束流规(BFM)，残余气体分析(RGA)，预留更多原位监测设备安装口，保留升级拓展能力。

系统占地空间小，容许双生长腔模块

模块化腔室结构系统占地空间小于同类型MBE系统，可支持两个生长腔模块，极大提高产量并允许不兼容的材料体系生长。

系统操作简单，平均运行周期长

系统操作便捷，界面简洁友好，自带安全互锁报警及防误触功能，模块化多腔室构型为各个腔室配备独立的泵组及闸板阀，维护轻松方便，保证系统正常运行时长。

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