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Cassification
GEN2000 MBE分子束外延系统提供的吞吐量、更长的活动周期、更小的占地面积和集群工具晶圆处理。它是 HBT 和 pHEMT 等无线通信设备大批量生产以及需要以低拥有成本生产 6 英寸的新兴应用的理想选择。
GEN200 MBE分子束外延系统是当市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供的吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。
GEN20 MBE分子束外延系统是一款超灵活的工具，设计可针对III-V型及新兴材料进行配置，包括需要电子束技术集成的应用。该系统集成了生产设计技术，支持可选的集群工具晶圆转移系统，实现理想的实验室到晶圆间迁移。
GENxcel R&D MBE分子束外延系统具备易于使用的手动传输系统、12个源端口和现代电子设备，集成于单一框架设计中，可实现大的实验室占地面积效率。
GEN10 MBE分子束外延系统是经过验证的平台中最灵活的集群工具系统，支持最多三个可配置的材料特定增长模块。这使得系统利用率高，使多位研究人员能够同时使用系统，进行无人值守的生长和校准。结合Veeco零部件技术，是MBE社区无论应用何种，都选择GEN10™ MBE系统的关键因素。
GENxplor R&D MBE分子束外延系统是一款面向化合物半导体研发市场的集成式分子束外延设备，以紧凑单框架设计和高工艺灵活性著称，适用于多种前沿材料的原子级精确生长研究。
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