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产品分类
Cassification
Esther E320R 8英寸单片减压硅外延系统主要用于体硅外延、埋层外延、选择性外延等多种特色工艺的运行。该设备主要由传输系统模块、工艺腔室模块、压力控制模块等组成。精准的压力、气流场与温场控制,保证了外延片良好的工艺性能,保证成膜质量。传输模块可兼容多种晶圆尺寸,同时满足多种类的工艺需求。