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产品分类
Cassification
详细介绍
Genesis ALD原子层沉积系统适用于电池、太阳能和柔性电子设备的功能性ALD涂层。Genesis ALD非常适合涂覆任何卷状基材,并适用于多种功能应用。
Genesis ALD原子层沉积系统特点:
1.市场与应用
适用于电池、太阳能和柔性电子设备的功能性ALD涂层。Genesis ALD非常适合涂覆任何卷状基材,并适用于多种功能应用。
各种锂离子和固态电池阴极和阳极的钝化
柔性太阳能电池的导电层与封装
柔性电子设备的防潮层
2.材料选择
丰富的ALD材料选择,满足您的需求。多年来,Beneq在研发和工业生产领域开创了卷对卷ALD系统。我们的常用材料包括铝氧化物、钛氧化物、锌氧化硫、氧化硫、氧化硅,或根据需求提供的其他材料。
3.特色亮点
网宽:最大420毫米
铝合金涂层厚度:最大100nm
动态沉积速率(Al2O3):10 nm *m/min
工艺温度:最高250°C
4.定制化
Genesis ALD最大宽度为420毫米,适合实验室研发或试点规模生产。设计用于将ALD薄膜处理到聚合物或金属等柔性基材上。
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