Beneq Transform® 300 ALD原子层沉积系统是一款高度多功能的制造平台，面向专注于 CIS、电源、微型 OLED/LED、优良封装及其他 MtM 应用的集成设备（IDM）和代工厂。它是一种高度可配置的解决方案，适用于多种优良薄膜应用，从栅极介质到钝化和/或封装等。

Name: Beneq Transform® 300 ALD原子层沉积系统
Brand: Beneq
Availability: InStock

产品咨询联系我们

产品分类

Cassification

相关文章

详细介绍

Beneq Transform® 300 ALD原子层沉积系统是一款高度多功能的制造平台，面向专注于 CIS、电源、微型 OLED/LED、优良封装及其他 MtM 应用的集成设备（IDM）和代工厂。它是一种高度可配置的解决方案，适用于多种优良薄膜应用，从栅极介质到钝化和/或封装等。

Beneq Transform® 300 ALD原子层沉积系统特点：

多功能性

最大灵活性和能力。Beneq Transform® 300是一款同时提供热铝铝（批量）和等离子铝铝（单片晶圆）技术的300毫米ALD集群工具。

可配置

找到适合你的设备。Transform® 300平台旨在满足广泛的容量和应用需求，包括优良封装、芯片级封装和晶圆带应用。

生产力

行业标准的上限。该工具具备优秀的维修性和最短的MTTCR服务。凭借我们专有的预热模块，享受热批次ALD中最高的通量。

FAB准备

Beneq Transform® 300 兼容无尘室，支持 SECS/GEM 通信能力，并符合 SEMI S2 和 S8 标准。

产品咨询