VOYAGER 高性能电子束光刻系统集稳定高性能与简易操作性于一体，全生命周期具备优异的性价比，是适用于科研学术与工业应用场景的通用型解决方案。设备采用全自动、出色人体工学设计，搭载智能功能与创新架构，可最大限度缩短检测出结果的周期。此外，标配耐环境防护罩，即便在非理想实验室环境下也能保障系统稳定运行，进一步提升了设备的可靠性与使用便捷性。

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更新时间：2026-05-07
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VOYAGER 高性能电子束光刻系统集稳定高性能与简易操作性于一体，全生命周期具备优异的性价比，是适用于科研学术与工业应用场景的通用型解决方案。设备采用全自动、出色人体工学设计，搭载智能功能与创新架构，可最大限度缩短检测出结果的周期。此外，标配耐环境防护罩，即便在非理想实验室环境下也能保障系统稳定运行，进一步提升了设备的可靠性与使用便捷性。

VOYAGER 高性能电子束光刻系统主要特性

・高度符合人体工程学的人机界面

・50 千伏热场发射电子枪柱技术

・全自动写入场校准

・自动聚焦与像散校正设置

・高分辨率与高通量写入模式自动切换

・灵活的定向图形填充模式

・无拼接误差连续写入模式

・独特的基于公式的图形生成工艺

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