PIONEER 电子束光刻系统是一款集成了电子束光刻（EBL）和扫描电子显微镜（SEM）功能的创新性仪器，专为高校和科研机构设计。它采用先进的热场发射技术、多种检测器以及高精度激光干涉仪控制台，提供“写入与观察"配置，具备模块化设计和高性价比的特点。该系统适用于需要进行纳米结构制造及分析的用户，尤其适合材料学和生命科学研究领域。

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更新时间：2026-05-07
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PIONEER 电子束光刻系统是一款集成了电子束光刻（EBL）和扫描电子显微镜（SEM）功能的创新性仪器，专为高校和科研机构设计。它采用先进的热场发射技术、多种检测器以及高精度激光干涉仪控制台，提供“写入与观察"配置，具备模块化设计和高性价比的特点。该系统适用于需要进行纳米结构制造及分析的用户，尤其适合材料学和生命科学研究领域。

PIONEER 电子束光刻系统主要特性

・基于 Gemini 技术的超高分辨电子光学镜筒

・电子束光刻实现个位数纳米级分辨率

・超高精度激光干涉仪载台（行程可选 2 英寸、4 英寸或 6 英寸）

・适配扫描电镜成像、计量与分析的多种探测器

・丰富多样的纳米加工工艺选项

・RAITH Nanosuite 系统控制软件

・具备自动聚焦、自动消像散、自动亮度及自动对比度功能

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