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Cassification
GENxcel R&D MBE分子束外延系统具备易于使用的手动传输系统、12个源端口和现代电子设备，集成于单一框架设计中，可实现大的实验室占地面积效率。
GEN10 MBE分子束外延系统是经过验证的平台中最灵活的集群工具系统，支持最多三个可配置的材料特定增长模块。这使得系统利用率高，使多位研究人员能够同时使用系统，进行无人值守的生长和校准。结合Veeco零部件技术，是MBE社区无论应用何种，都选择GEN10™ MBE系统的关键因素。
GENxplor R&D MBE分子束外延系统是一款面向化合物半导体研发市场的集成式分子束外延设备，以紧凑单框架设计和高工艺灵活性著称，适用于多种前沿材料的原子级精确生长研究。
Esther E320R 8英寸单片减压硅外延系统主要用于体硅外延、埋层外延、选择性外延等多种特色工艺的运行。该设备主要由传输系统模块、工艺腔室模块、压力控制模块等组成。精准的压力、气流场与温场控制，保证了外延片良好的工艺性能，保证成膜质量。传输模块可兼容多种晶圆尺寸，同时满足多种类的工艺需求。
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