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Cassification
双腔型原子层沉积ALD系统采用喷淋模式双腔反应腔设计,核心面向高效研发与中试生产场景,可制备原子级精度的高质量薄膜,广泛适配半导体、微电子、能源存储、生物医疗等前沿领域的薄膜工艺需求。
单腔型原子层沉积ALD系统主打科研研发与中小规模量产场景,可覆盖 4 英寸至 12 英寸衬底的高精度纳米薄膜沉积需求,是国内 ALD 设备领域的主流选型之一。
手套箱集成型原子层沉积ALD系统是一种高度专业化的薄膜制备设备。它将原子层沉积的高精度薄膜生长能力,与手套箱的惰性气氛保护环境无缝结合,专门用于研发那些对空气中的水氧极为敏感的前沿材料。