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ATC Flagship Series物理气相沉积系统可根据多种配置建造以满足大多数需求。这些系统围绕AJA独特的A300-XP(UHV)或Stiletto系列(HV)磁控管溅射源构建,这些源具原位磁控管头的倾斜,实现了精确且可重复的共焦、直射和离轴薄膜沉积。
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