MiScan 高效混合直写光刻系统是为中国市场定制的先进曝光设备，提供多种光源选择及灵活的运动平台配置。其亮点在于高分辨率、精细的灰度等级以及精密的套刻对准精度，并支持百级净化环境下的曝光操作。该系列设备适用于需要高精度加工的领域。

Name: MiScan 高效混合直写光刻系统
Brand: 其他品牌
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MiScan 高效混合直写光刻系统是为中国市场定制的先进曝光设备，提供多种光源选择及灵活的运动平台配置。其亮点在于高分辨率、精细的灰度等级以及精密的套刻对准精度，并支持百级净化环境下的曝光操作。该系列设备适用于需要高精度加工的领域。

MiScan 高效混合直写光刻系统技术特点

可选配大功率光源405nmLD、355nmDPSSL（Dpssl355nm激光光源寿命大于20000小时）

标准支持12英寸幅面基板，其他幅面可定制

多维光刻(偏振曝光、干涉曝光、1024阶3D曝光)

高精密工件台

高精度环控系统

自动聚焦，实时对准

分区定位，多基片，多任务曝光

支持自动与手动对准

GDSII、BMP、STL等文件格式支持

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