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MBE 6000分子束外延系统
简要描述:

MBE 6000分子束外延系统是全球每个成功的大批量商家或内部 epi 操作的核心。它是高通量和可重复性的MBE基准。活动时间通常超过一年,这证明了反应堆的稳定性和可靠性。没有比Riber的新客户和长期客户重复下订单更有力的认可了。有许多晶圆厂配备了 2 – 8 个 MBE 6000,24 / 7 并排运行。最初,系统主要用于制造大量微波器件材料。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-03-18
  • 访  问  量:53

详细介绍

MBE 6000分子束外延系统技术参数和特点:                      

衬底尺寸:3 英寸、4 英寸、6 英寸、200 毫米                     

外延生长:可实现原子的表面平整度且界面陡峭的超薄层沉积,以及合金组分或掺杂原子纵向浓度梯度可调等。                   

真空系统:提供高真空环境,减少杂质和污染,保证晶体沉积的纯度和质量。             

温度控制:生长温度低,有效避免界面原子的互扩散。                                           

MBE 6000分子束外延系统的应用非常广泛,主要包括以下几个方面:                     

半导体器件:如晶体管、二管、激光器等。                                 

光电子器件:如太阳能电池、LED、光电探测器等。                        

量子点:使用“量子点",这是使用MBE创建和控制的中等体积的纯半导体合金。

超导金属:超导金属可以具有超精确的尺寸(原子尺度),电子在其中不受干扰地流动。


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