Fiji ALD原子层沉积系统是一种模块化、高真空热原子层沉积系统，采用灵活的架构和多种前驱体和等离子体气体配置，可适应各种沉积模式。Fiji 是下一代 ALD 系统，能够执行热成像和等离子体增强沉积。

Name: Fiji ALD原子层沉积系统
Brand: Veeco
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Fiji ALD原子层沉积系统是一种模块化、高真空热原子层沉积系统，采用灵活的架构和多种前驱体和等离子体气体配置，可适应各种沉积模式。Fiji ALD是下一代 ALD 系统，能够执行热成像和等离子体增强沉积。

我们应用了的计算流体力学分析，优化Fiji ALD反应堆、加热器和陷阱几何结构。系统的直观界面使得监控和根据需要更改配方和流程变得轻松。

Fiji ALD原子层沉积系统的功能包括：

专有腔室涡轮泵系统

改进等离子体设计

人体工学界面

原位椭偏度

原位石英晶体微观天平

综合臭氧

手套箱接口

Fiji ALD提供最多六条前驱体管线，可容纳固体、液体或气体前驱体，以及六条等离子体气体管线，在紧凑且经济的占地内提供显著的实验灵活性。

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