Savannah ALD原子层沉积系统已成为全球从事ALD研究、寻求经济实惠且稳健平台的大学研究人员优先的系统。过去十年中，我们已交付数百套此类系统。Savannah®高效利用前体和节能功能，大幅降低了薄膜沉积系统的运行成本。

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更新时间：2026-03-05
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Savannah ALD原子层沉积系统已成为全球从事ALD研究、寻求经济实惠且稳健平台的大学研究人员优先的系统。过去十年中，我们已交付数百套此类系统。Savannah®高效利用前体和节能功能，大幅降低了薄膜沉积系统的运行成本。

Savannah ALD原子层沉积系统主要特点包括：

原位椭偏度

原位量子运力学

自组装单分子层

2秒周期时间

低蒸气沉积

手套箱集成

Savannah®配备了高速气动脉冲阀，支持我们独特的曝光模式™，用于超高展弦比基底上的薄膜沉积。这种经过验证的精密薄膜涂层方法可用于在宽高比大于> 2000：1的基底上沉积均匀、共形的薄膜。Savannah®提供三种配置：S100、S200和S300。Savannah®能够容纳不同尺寸的基材（S300可达300mm）。Savannah®薄膜沉积系统配备加热前驱体管线，并可选添加最多六条管线。Savannah®能够处理气体、液体或固体前驱体。

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Savannah ALD原子层沉积系统已成为全球从事ALD研究、寻求经济实惠且稳健平台的大学研究人员优先的系统。过去十年中，我们已交付数百套此类系统。Savannah®高效利用前体和节能功能，大幅降低了薄膜沉积系统的运行成本。

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