NMC 508M金属等离子刻蚀机，适用6/8英寸金属干法刻蚀工艺。具备良好的铝线形貌控制能力、高刻蚀速率、高刻蚀均匀性、低颗粒/缺陷等性能优势。该机台为多腔室集群设备，含金属腔和去胶腔组合，可全自动并行工艺，PM维护周期长，性能稳定，产能高，客户拥有成本低 。已广泛量产应用于集成电路、化合物半导体、功率半导体、硅基微型显示、科研等领域中的金属铝、钨等刻蚀工艺。

NMC 508M金属等离子刻蚀机，适用6/8英寸金属干法刻蚀工艺。具备良好的铝线形貌控制能力、高刻蚀速率、高刻蚀均匀性、低颗粒/缺陷等性能优势。NMC 508M金属等离子刻蚀机为多腔室集群设备，含金属腔和去胶腔组合，可全自动并行工艺，PM维护周期长，性能稳定，产能高，客户拥有成本低 。已广泛量产应用于集成电路、化合物半导体、功率半导体、硅基微型显示、科研等领域中的金属铝、钨等刻蚀工艺。

设备特点

•等离子体源与离子能量控制能力：设备采用可调节的等离子体源设计，能够根据不同的工艺需求与加工材料特性，灵活调整等离子体源的参数，适配多样化的生产场景，避免因等离子体源固定而限制工艺适用范围；同时，设备具备精确的离子能量控制功能，可对刻蚀等工艺过程中的离子能量进行精准调控，有效保障加工过程中的尺寸精度与表面质量，减少因离子能量波动导致的工艺偏差。

•金属刻蚀适配性与工艺覆盖度：在金属刻蚀方面，设备具备良好的处理能力，对多种金属材料的刻蚀效果稳定，能满足不同金属加工的精度与表面质量要求，无需频繁更换核心部件即可应对不同金属材质的加工需求；此外，设备的工艺应用范围较广，可适配多种与金属刻蚀相关的生产流程，无论是简单的金属层刻蚀，还是复杂的金属结构加工，都能提供稳定的工艺支持，适配不同行业的生产工艺标准。

•量产稳定性与可靠性：设备在量产场景中表现出稳定的运行状态，能够持续应对大规模、长时间的连续生产任务，减少因设备性能波动导致的生产中断；同时，设备的平均故障间隔时间（MTBC）较高，意味着设备出现故障的频率较低，有效降低了量产过程中的停机维护次数，保障了生产流程的连续性，为企业稳定提升产能提供了可靠保障。

•成本控制优势：从成本角度来看，设备具备低拥有成本与低运营成本的特点。低拥有成本体现在设备采购后，无需额外投入大量资金用于配套设施的改造或升级，初期投入性价比良好；低运营成本则体现在设备日常运行中的能耗较低，且维护过程中所需的零部件更换频率低、维护操作难度小，有效减少了企业在设备运行与维护过程中的资金投入，帮助企业控制长期生产成本。

产品应用

•晶圆尺寸兼容性：设备在晶圆尺寸适配方面具备良好的兼容性，可同时支持 6 英寸与 8 英寸晶圆的加工处理。在实际生产中，无需为不同尺寸的晶圆单独配置专用设备，仅需通过简单的参数调整即可完成不同尺寸晶圆的生产切换，大幅降低了设备更换与调试的时间成本，提升了设备在多尺寸晶圆生产需求下的灵活性与使用效率，满足企业多样化的晶圆加工需求。

•适用材料范围：设备可适配多种材料的加工需求，包括铝、氮化钛、钼、钨、氧化铟锡等常见金属及金属化合物材料。针对不同材料的物理特性与化学特性，设备能够调整对应的工艺参数，确保在加工过程中材料的性能不受破坏，同时保障加工精度与表面质量，满足以这些材料为基础的半导体器件、显示面板等产品的制造需求。

•适配工艺类型：在工艺应用上，设备可广泛支持顶层金属刻蚀、中间层金属刻蚀等关键工艺环节。这些工艺在半导体芯片、显示器件等产品的制造中起着重要作用，设备能够根据不同工艺环节的技术要求，精准控制刻蚀深度、刻蚀速率等关键指标，确保工艺环节的顺利推进，为最终产品的性能与质量提供保障，适配多种精密电子元件的生产流程。

•覆盖应用领域：设备的应用领域较为广泛，可深度适配集成电路行业的芯片制造环节，为芯片内部金属结构的刻蚀提供稳定支持；同时，也可应用于化合物半导体、功率半导体的生产加工，满足这类半导体产品对金属层加工的高精度要求；在硅基微型显示领域，设备能够支持显示面板中金属电极等结构的精密刻蚀，助力高品质显示产品的制造；此外，在科研领域，设备也可作为半导体材料加工、工艺技术研发的实验设备，为相关科研项目的开展提供必要的技术支持。