WE3102系列12英寸槽式清洗设备主要用于集成电路、新兴应用等领域12英寸清洗工艺。采用模块化、标准化设计，满足客户多种工艺应用需求

Name: WE3102系列12英寸槽式清洗设备
Brand: 北方华创
Availability: InStock

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WE3102系列12英寸槽式清洗设备主要用于集成电路、新兴应用等领域12英寸清洗工艺。采用模块化、标准化设计，满足客户多种工艺应用需求；集成多功能药液槽，刻蚀速率控制精准；应用先进的低压干燥技术，实现良好的干燥效果。

WE3102系列12英寸槽式清洗设备特点

• 可配备iCB多药液工艺槽，支持 DN unit, DIO3 等附属功能

• 软件量身定制，具备快速更新能力

• 较高的温度控制稳定性

• 超高的补水精度

• 精准的蚀刻速率控制

• 优秀的干燥效果

产品应用

• 晶圆尺寸：12英寸

• 适用材料：光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物

• 适用工艺：炉前清洗、刻蚀 / 抛光后清洗、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除等

• 适用领域：集成电路、新兴应用

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