Satur系列多片式MOCVD外延系统，采用金属有机化合物源输运方案，适用于氮化镓、砷化镓、磷化铟等化合物半导体外延生产。设备全系自主研发，优化流场与温场设计，均匀性控制能力突出。

Name: Satur系列多片式MOCVD外延系统
Brand: 北方华创
Availability: InStock

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Cassification

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Satur系列多片式MOCVD外延系统，采用金属有机化合物源输运方案，适用于氮化镓、砷化镓、磷化铟等化合物半导体外延生产。设备全系自主研发，优化流场与温场设计，均匀性控制能力突出。经客户端量产工艺实测验证，整机性能与外延工艺水平达到出色水平，助力化合物半导体产线自主化落地。

Satur系列多片式MOCVD外延系统设备特点

• 优异的均匀性、一致性、稳定性控制

• 盒对盒全自动传输系统

• 先进的实时监控系统

• 友好界面与配方编辑功能

• 满足SEMI S2 安全标准

产品应用

• 晶圆尺寸：4、6、8英寸

• 适用材料：氮化镓、砷化镓、磷化铟

• 适用衬底：硅、碳化硅、氧化铝、砷化镓、磷化铟

• 适用领域：集成电路、化合物半导体、科研

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Satur系列多片式MOCVD外延系统，采用金属有机化合物源输运方案，适用于氮化镓、砷化镓、磷化铟等化合物半导体外延生产。 设备全系自主研发，优化流场与温场设计，均匀性控制能力突出。