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在半导体、显示面板、太阳能电池等优良制造领域,我们需要将材料精准“裁剪”成微米甚至纳米级的图案——就像雕刻家雕琢玉石,而湿法刻蚀就是用“化学药水”代替刻刀的雕刻技术:通过特定化学试剂与材料的选择性反应,溶解不需要的部分,留下目标图形。它成本低、操作简单,至今仍是工业生产中至关重要的核心工艺。01什么是湿法刻蚀?湿法刻蚀是一种通过化学溶液与材料发生化学反应,实现选择性去除的微纳加工技术。其本质是一个纯粹的化学反应过程:利用溶液与待刻蚀材料之间的化学反应,将未被掩蔽膜保护的部分去...
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在半导体、MEMS、光电子等优良领域,微纳加工工艺的精度与可靠性直接决定了最终器件的性能。随着器件特征尺寸不断缩小、结构复杂度日益提升,传统的刻蚀技术面临着全新的挑战。PlasmaPro100CobraICP系统,正是为应对这些挑战而生的综合性解决方案。它凭借创新的核心技术和灵活的工艺能力,正成为科研机构与*进制造企业攻克下一代器件制备难题的关键工具。01系统技术特性PlasmaPro100Cobra系列刻蚀和沉积设备具备200mm单晶圆及多晶圆批处理能力,支持广泛温度范围(...
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在半导体芯片和微机电系统(MEMS)制造领域中,有一种技术如同精密的刻刀,能够在微纳米尺度上精确地雕刻出各种结构——这就是干法刻蚀(DryEtching)技术。作为微纳制造的核心工艺之一,干法刻蚀以其高精度和各向异性好的特点,成为现代集成电路制造中至关重要的关键技术。01什么是干法刻蚀?干法刻蚀(DryEtching)是微纳制造领域核心的材料去除技术,指在气态环境中,通过等离子体、离子束等活性粒子与材料表面发生物理碰撞或化学反应,选择性去除目标区域材料的工艺。简单说,干法刻蚀...
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原子层沉积(ALD)技术凭借原子级膜厚控制、优异保型性,成为纳米涂层制备核心支撑,适配优良制造业多场景,且这些场景对制程环境纯度、样品转移无污染性要求严苛。政策上,《十四五半导体产业规划》将其设备列为“卡脖子”攻关清单,国投基金加码推动进口替代。手套箱集成型(MNT-G系列)ALD系统实现惰性环境与精准沉积无缝融合,已服务全球超250家客户,覆盖微电子等关键领域。01系统技术特性MNT-G系列是将原子层沉积(ALD)技术与手套箱系统集成的优良薄膜制备设备,专为对氧气和水分敏感...
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在增材制造技术飞速发展的今天,传统3D打印设备在精度控制、复杂结构适配、多材料兼容等方面的局限逐渐显现。华兆科技(广州)有限公司重磅推出华兆FDM-05六轴3D打印机,以自动化、高精度、强适配性的核心优势,为科研验证与工业生产提供一站式解决方案,重新定义FDM3D打印的应用边界。01系统技术特性作为专为科研与工业场景定制的优良设备,该系统通过六轴协作机器人与高精度FDM打印单元的深度集成,构建了从模型导入到后处理的全流程智能工作流。无论是复杂空间结构打印,还是多类型工业材料验...
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刻蚀技术是微纳加工与半导体制造的核心工艺,如同“雕刻家”般以物理、化学或混合方式选择性去除材料,在基底上复刻掩膜图形,其精度直接决定芯片性能与器件可靠性,是*进制程推进的关键支撑。01什么是刻蚀?为什么要进行刻蚀?刻蚀本质是“选择性材料去除技术”,通过特定介质(化学溶液或等离子体)作用,将未被光刻胶等掩蔽层保护的材料精准剥离,最终在基底上形成与掩膜精准一致的微纳结构。作为半导体制造中仅次于光刻的核心步骤,它贯穿芯片全流程——从前端晶体管栅极加工,到后端金属布线与通孔刻蚀,*进...
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随着半导体、光伏、微电子等高科技产业的飞速发展,薄膜沉积技术已成为现代制造业的核心环节之一。薄膜沉积工艺的质量直接决定了集成电路的性能、太阳能电池的转换效率以及各类电子器件的可靠性和寿命。在众多沉积技术中,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)因其独特的优势而备受关注。PECVD技术通过利用等离子体激活化学反应,能够在较低温度下实现高质量薄膜的沉积,这一特性使其对温度敏感的基板材料尤为重要。NANO-MASTERPECVD系统在半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等领域...