奥林巴斯OLS5100激光共聚焦显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计，将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合，使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精准测量，不仅简化了工作流程，还能提供值得信赖的数据。

产品概述

LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。 与Smart Lens Advisor（智能镜头顾问）配合使用，可以获得值得信赖的准确数据。

• 有保证的测量准确度

• 10倍至100倍物镜可减少405 nm波长的像差，在整个视场中捕捉样品的真实形貌。

• Smart Lens Advisor（智能镜头顾问）有助于为粗糙度测量选择合适的物镜

通过精心设计的软件，新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。

• 轻松获取准确数据：将样品放在载物台上，然后按下“开始"按钮即可

• 在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果。

智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化，使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。

• 利用宏功能实现分析工作流程的自动化

• 测量数据易于整理

• 将数据自动填充到实验计划矩阵中，减少了输入错误的几率

• 测量结果以列表形式显示，一眼就能做出通过/不通过的判断。

优势特性

• 智能扫描II

无论是经验丰富的用户还是新手，都能使用Smart Scan II（智能扫描II）功能快速轻松地获取数据。只需将样品放在载物台上，按下启动按钮即可，剩下的工作就由显微镜完成。

• PEAK算法：奥林巴斯OLS5100激光共聚焦显微镜采用PEAK算法构建3D数据。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采集时间。

• 跳过不必要的扫描：在测量包含几乎垂直平面的样品（如电子元件或MEMS）的台阶形貌时，可以通过跳过Z轴方向上不必要的扫描范围来减少数据采集时间。使用MPLAPON50XLEXT物镜时，约10秒钟就可完成对100 μm台阶的测量，且准确度不会降低。

• 准确的形貌数据：奥林巴斯OLS5100激光共聚焦显微镜的自动判断系统可根据每个样品的要求进行调整，而HDR扫描则可通过改变探测灵敏度来获取两组形貌信息，以构建准确的形貌数据。

• 准确度和可重复性均有保证

测量工具的性能通常用准确度和可重复性来表示，准确度表明测量值与真实值的接近程度，可重复性表明重复测量值的变化程度。我们保证显微镜基于可追溯系统的准确性和可重复性，让您对测量结果充满信心。

• 视场之外的表面测量

OLS5100显微镜的电动载物台上装有长度测量模块，可以保证拼接图像数据的准确性。以前的激光显微镜根据图案匹配拼接数据，而OLS5100显微镜将从长度测量模块获得的位置信息添加到图案匹配中，以提供具有很高可靠性的拼接数据，并保证准确度。

• 连续自动对焦

在移动载物台或更换物镜时，显微镜的连续自动对焦功能可保持图像的对焦状态，大幅减少了手动调整的需要。持续焦点跟踪功能可使您快速轻松地进行观察。

• 用于纳米级实时观察的双重微分干涉（DIC）

通过实时的纳米级观察，检测样品中的微小损伤。微分干涉（DIC）观察可使您观测到激光显微镜通常无法分辨的纳米级表面轮廓。借助DIC激光模式，就是使用5倍或10倍的低倍率物镜，OLS5100显微镜也可以获得与电子显微镜相当的实时图像。

• 符合ISO25178标准的表面粗糙度测量

OLS5100显微镜使用0.4μm直径的激光束扫描样品表面，能够轻松测量接触式表面粗糙度仪无法测量的样品表面粗糙度。 同时还可以获取接触式表面粗糙度仪无法获得的表面彩色图像、激光图像和3D形貌数据，使得更多分析功能得以实现。

• 轮廓测量/测量辅助工具

轮廓测量功能通过在图像中的待测位置上任意绘制测量线的方式显示表面轮廓。它还可以测量任意两个点之间的距离、宽度、横截面积和半径。与接触式测量工具不同，这种测量位置的设置非常简单。 可以在图像上标记测量线和测量点，因此即使是非常小的位点也能准确测量。有了测量辅助工具，就可以使用极值点、中间值点和/或平均值点准确指定待测点。在所获取的数据中指定了一个位点时，可根据指定条件自动提取特征点。